稀有金屬蝕刻加工能開(kāi)多小的孔徑？

　　今天我就我所了解的稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的孔徑知識(shí)和大家探討一下稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的問(wèn)題。

　　我們需要了解稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的原理：稀有金屬蝕刻就是先在基板上用絲印或網(wǎng)印的方式把基板上需要保護(hù)的部位遮住（也就是不需要開(kāi)孔的位置遮住，需要開(kāi)孔的位置露出來(lái)），然后用化學(xué)或電化學(xué)方式侵蝕掉需要開(kāi)孔的的部位，較后退去不需要開(kāi)孔區(qū)域的保護(hù)膜，這樣一件稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的工件產(chǎn)品就完成了。

　　稀有金屬蝕刻加工工藝的較小開(kāi)孔跟材料厚度相關(guān)，而且和菲林制圖也有緊密的關(guān)系，首先光繪機(jī)可以制作出來(lái)的菲林較小的孔徑目前國(guó)內(nèi)是0.04mm，較小的縫寬也是0.04mm，那么菲林的制作就限制了稀有金屬蝕刻開(kāi)孔的大小，0.04mm孔徑的菲林理論上是可以開(kāi)0.05mm的小孔，依次類推的原理，稀有金屬蝕刻開(kāi)孔孔徑首先要大于菲林設(shè)計(jì)的孔徑，稀有金屬蝕刻孔徑需要大于菲林制圖孔徑的1.2倍。前二、需要稀有金屬蝕刻工件的材料厚度是稀有金屬蝕刻較小開(kāi)孔孔徑的較大限制，在正常開(kāi)垂直孔的情況下，稀有金屬蝕刻開(kāi)孔要求開(kāi)孔孔徑是材料厚度的1.2倍以上，較低是1:1（這是較佳匹配數(shù)據(jù)），如果是開(kāi)喇叭孔（也就是錐形孔），在這種情況下，需要開(kāi)孔工件的材料厚度可以是開(kāi)孔孔徑的2倍。

　　按照這兩種情況的介紹，稀有金屬蝕刻較小能開(kāi)多大的孔？這個(gè)問(wèn)題也就解決了，首先根據(jù)菲林制圖和目前圖形轉(zhuǎn)移的技術(shù)，稀有金屬蝕刻較小理論能開(kāi)0.05mm的孔徑（只限于少量的孔，因?yàn)榭滋嗵艿脑?，開(kāi)孔效果就不理想了，因?yàn)閳D形轉(zhuǎn)移中的顯影做不到如此細(xì)小的圖形）。其次根據(jù)材料的厚度來(lái)回答稀有金屬蝕刻較小能開(kāi)多大的孔？以0.2mm厚度的稀有金屬蝕刻材料為例：稀有金屬蝕刻開(kāi)垂直孔，較小可以開(kāi)0.2mm的孔徑，如果是開(kāi)喇叭孔（即錐形孔），較小可以開(kāi)0.1mm的孔。

　　按此原理依次理類推，如果是小于這個(gè)原理的開(kāi)孔孔徑稀有金屬蝕刻就做不到了，此時(shí)由于化學(xué)稀有金屬蝕刻的藥劑的擴(kuò)張性無(wú)法滿足稀有金屬蝕刻量，孔就無(wú)法被蝕穿，所以此時(shí)就不適用稀有金屬蝕刻工藝來(lái)開(kāi)孔了。

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