金屬蝕刻1,金屬蝕刻工藝流程一:
每件金屬鈑,上下兩面,均要干凈,除油,因為任何不潔表面均影響?zhàn)つべN在金屬之可靠性。
清潔后之金屬兩面再貼上干膜,(Photo-resist)(此光反應(yīng)材料曝光于某光波段之光線中會塑性化,并產(chǎn)生對無機(jī)體溶液如酸液類防蝕作用)。
2,金屬蝕刻流程之二:曝光
然后,雙面蝕刻金屬鈑需小心夾放于兩層照相負(fù)片(光工具)中,而單面蝕刻則需放于光工具之下。利用加壓或抽真空把之夾緊,存放在適當(dāng)光線中曝光,此舉令曝露之黏膜塑化,黏膜對化學(xué)光(ActinicLight)是有反應(yīng),惟在黃色光線,反應(yīng)甚微,曝光時間長短視乎光源強弱,黏膜劑種類等因素而定。
光工具工藝從用放大倍數(shù)比例繪制圖案草稿開始,把尺寸準(zhǔn)確校正,再縮回原比例,此舉為便于控制尺寸精度,根據(jù)圖樣制造一底一面負(fù)片,再把金屬鈑牢牢夾于其中,若工件尺寸細(xì)小,要求在特定面積金屬鈑上蝕出若干件數(shù)時,可采用重迭排放機(jī)把影像重復(fù)攝制在負(fù)片上。至于上下負(fù)片如何保證絕對校正影像,便是此工藝之竅門。
3,金屬蝕刻之三:顯影沖洗
影像顯影工作是通過浸滌或涂噴特定顯影劑,顯影劑把曝光部份之黏膜溶解,剩下塑化部份。
4,金屬蝕刻之四:烘干:顯影后之金屬鈑經(jīng)第二次烘干。
5,金屬蝕刻之五:蝕刻金屬板放入蝕刻機(jī)中把顯影后露出金屬之部份蝕刻,干膜部份受保護(hù),不獲蝕刻。此工序是整個生產(chǎn)制程是重要的工序之一。
腐蝕劑有多種種類,例如氯化鐵,氫氟酸和水之混合物便是應(yīng)付鋼和合金銅的腐蝕劑,某些金屬是需用堿性的腐蝕劑。
金屬蝕刻的缺陷:當(dāng)金屬面受蝕刻時,其黏膜邊位置亦會稍微凹陷,故蝕刻出來之剪切邊并不是百分一百垂直的。所以蝕刻后之尺寸是跟影像尺寸略有些微差別,外圍尺寸縮而內(nèi)圍尺寸擴(kuò)大,內(nèi)尖角位置是會變成小圓角,這些毛病是要經(jīng)過矯正后方后達(dá)至預(yù)期之精密度,另外矯正尺寸變化亦可在預(yù)留圖案草稿中進(jìn)行。當(dāng)然,重要因素還是倚靠累積經(jīng)驗,才能控制準(zhǔn)確精密度。
6,金屬蝕刻工藝流程之六:剝脫、清洗、曬干。