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高精密蝕刻質(zhì)量的控制方法

　　高精密蝕刻工藝對產(chǎn)質(zhì)量量操控的要求主要體現(xiàn)在操控的方法上，其操控的方法主要有可量化操控描繪和不行量化操控描繪。在規(guī)劃工藝時，應(yīng)該盡或許地挑選前者，由于只要量化的方法才是較為直觀的方法，一起也較簡單被高精密蝕刻操作者所了解，也簡單被質(zhì)較監(jiān)督員選用丈量的東西進(jìn)行量化查看。比方，深度的改動能夠用卡尺或其他更精細(xì)的儀器進(jìn)行丈量；粗糙度能夠選用粗糙度測驗儀進(jìn)行丈量；關(guān)于工件外表的砂眼能夠用砂眼直徑、深度及單位面積的個數(shù)來操控。

　　經(jīng)高精密蝕刻后的工件力學(xué)功能的改動相同也可經(jīng)過儀器來丈量。對加工進(jìn)程中方法的質(zhì)量操控能夠選用溫度計、pH計、各種剖析方法等來對整個加工進(jìn)程中的要害工序進(jìn)行丈量，以確保其整個加工進(jìn)程的各個變量都在工藝規(guī)則的規(guī)模之內(nèi)。以上是一些可量化的質(zhì)量操控。但是在實踐生產(chǎn)進(jìn)程中，有些工序或有些外表作用由于受條件的約束無法或沒有各種東西或儀器進(jìn)行丈量，這時就會呈現(xiàn)一些用言語來描繪高精密蝕刻的質(zhì)量操控及判別方法等。

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