一、原理
其基本原理是運(yùn)用化學(xué)感光資料的光敏特性, 在基體金屬基片雙面均勻涂敷感光資料選用光刻辦法, 將膠膜板上柵網(wǎng)產(chǎn)顯形狀精確地復(fù)制到金屬基片雙面的感光層掩膜上通過(guò)顯影去掉未感光有些的掩膜, 將暴露的金屬有些在后續(xù)的加工中與腐蝕液直接噴壓觸摸而被蝕除, 最終獲取所需的幾何形狀及高精度尺度的商品技能精密五金蝕刻技能。
二、局限
精密五金蝕刻技能是運(yùn)用特定的溶液與薄膜間所進(jìn)行的化學(xué)反響來(lái)去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些，而抵達(dá)精密五金蝕刻的目的，這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。由于濕式精密五金蝕刻是運(yùn)用化學(xué)反響來(lái)進(jìn)行薄膜的去掉，而化學(xué)反響自身不具方向性，因而濕式精密五金蝕刻進(jìn)程為等向性，一般來(lái)說(shuō)此辦法不足以界說(shuō)3微米以下的線寬，但對(duì)于3微米以上的線寬界說(shuō)濕式精密五金蝕刻仍然為一可挑選選用的技能。
三、濕式精密五金蝕刻的長(zhǎng)處
低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對(duì)于干式精密五金蝕刻，除了無(wú)法界說(shuō)較細(xì)的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點(diǎn)：1) 需花費(fèi)較高成本的反響溶液及去離子水；2) 化學(xué)藥品處理時(shí)人員所遭受的安全問(wèn)題；3) 光阻附著性問(wèn)題；4) 氣泡構(gòu)成及化學(xué)精密五金蝕刻液無(wú)法徹底與晶圓外表觸摸所形成的不徹底及不均勻的精密五金蝕刻；5) 廢氣及潛在的爆炸性。
濕式精密五金蝕刻進(jìn)程可分為三個(gè)過(guò)程：1) 化學(xué)精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表；2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發(fā)作化學(xué)反響； 3) 反響后之產(chǎn)品從精密五金蝕刻資料之外表分散至溶液中，并隨溶液排出(3)。三個(gè)過(guò)程中進(jìn)行最慢者為速率操控過(guò)程，也即是說(shuō)該過(guò)程的反響速率即為全部反響之速率。
四、濕式精密五金蝕刻的速率
通?？山逵筛膭?dòng)溶液濃度及溫度予以操控。溶液濃度可改動(dòng)反響物質(zhì)抵達(dá)及脫離待精密五金蝕刻物外表的速率，一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)溶液濃度添加時(shí)，精密五金蝕刻速率將會(huì)進(jìn)步。而進(jìn)步溶液溫度可加快化學(xué)反響速率，進(jìn)而加快精密五金蝕刻速率。
除了溶液的選用外，挑選適用的屏蔽物質(zhì)亦是十分重要的，它必須與待精密五金蝕刻資料外表有極好的附著性、并能接受精密五金蝕刻溶液的腐蝕且安穩(wěn)而不蛻變。而光阻通常是一個(gè)極好的屏蔽資料，且由于其圖案轉(zhuǎn)印過(guò)程簡(jiǎn)單，因而常被運(yùn)用。但運(yùn)用光阻作為屏蔽資料時(shí)也會(huì)發(fā)作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運(yùn)用黏著促進(jìn)劑來(lái)添加光阻與基材間的黏著性，如Hexamethyl-disilazane (HMDS)。龜裂則是由于光阻與基材間的應(yīng)力區(qū)別太大，減緩龜裂的辦法可運(yùn)用較具彈性的屏蔽原料來(lái)吸收兩者間的應(yīng)力差。
