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蝕刻加工-顯影原理

曝光后的鋼片放入顯影機(jī)顯影,用5‰-12‰的Na2CO3溶液,顯影溫度30℃-40℃,顯影時(shí)活性基團(tuán)羧基-COOH與Na2CO3反應(yīng),生成親水性基團(tuán)-COONa,從而把未曝光的部分溶解下來(lái),而曝光部分的干膜不被溶解。其留在板面上保護(hù)下面的鋼片不被蝕刻藥水蝕刻。
掌握正確的顯影時(shí)間對(duì)保證顯影質(zhì)量至關(guān)重要,如果顯影時(shí)間不足,未聚合的光致抗蝕劑得不到充分的清潔顯影,未感光的抗蝕劑殘膠可能會(huì)留在金屬表面,造成蝕刻圖形失真。如果顯影時(shí)間過(guò)度,已聚合的光致抗蝕膜由于與顯影液接觸時(shí)間過(guò)長(zhǎng),而發(fā)毛、失去光澤,在蝕刻過(guò)程中容量產(chǎn)生圖形邊緣抗蝕膜起層或脫落。正確的顯影時(shí)間主要根據(jù)干膜提供的數(shù)據(jù)再經(jīng)多次實(shí)驗(yàn)來(lái)確定。
    一般顯影機(jī)由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽、噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、風(fēng)刀和溫度控制系統(tǒng)等部分組成。
①傳動(dòng)系統(tǒng):是引導(dǎo)鋼片運(yùn)行的驅(qū)動(dòng)裝置。是由電機(jī)通過(guò)蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動(dòng)傳送輥轉(zhuǎn)動(dòng),并通過(guò)對(duì)壓膠輥驅(qū)動(dòng)使鋼片通過(guò)顯影機(jī)的各個(gè)工作環(huán)節(jié)。
②顯影系統(tǒng):鋼片顯影過(guò)程中,經(jīng)過(guò)循環(huán)顯影液均勻連續(xù)噴淋,將沒(méi)有發(fā)生聚合反應(yīng)的感光材料迅速溶解。為了保證顯影液在恒定條件下工作,此部分還有加熱器和冷卻器,可自動(dòng)調(diào)節(jié)溫度。藥液自動(dòng)循環(huán)過(guò)濾,保證各處藥液濃度和溫度均勻一致。
③沖洗系統(tǒng):主要是由噴淋管向鋼片正反面噴淋清水,以除去附著在鋼片表面的顯影生成物和多余的顯影液,并通過(guò)擠壓輥擠去鋼片表面的水分。具備二次水洗功能。
④干燥系統(tǒng):由風(fēng)刀和膠輥組成,通過(guò)吹風(fēng)和加熱使鋼片迅速干燥,最后將鋼片送出。

 
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